超濾膜是超濾設備的核心元件，被用于超純水制備中的中端處理裝置。由于超濾膜是多空材料，以物理截留的方式去除水中的雜質，所以超濾膜要定期清洗，以保證超濾膜的通過量延長超濾膜的使用壽命。

超濾膜的清洗方法一般根據膜的性質和處理料液的性質來確定。通常和反滲透相類似，即先以水力清洗，而后根據情況采用不同的化學洗滌劑進行清洗。

超濾膜的清洗方法分為七個步驟：

1、配制清洗液

2、低流量輸入清洗液

首先用清洗水泵混合一遍清洗液，預熱清洗液時應以低流量。然后以盡可能低的清洗液壓力置換元件內的原水，其壓力僅需達到足以補充進水至濃水的壓力損失即可，低壓置換操作能夠最大限度的減低污垢再次沉淀到膜表面，視情況而定，排放部分濃水以防止清洗液的稀釋。

3、循環

當原水被置換掉后，濃水管路中就應該出現清洗液，讓清洗液循環回清洗水箱并保證清洗液溫度恒定。

4、浸泡

停止清洗泵的運行，讓膜元件完全浸泡在清洗液中。頑固的污染物需要延長浸泡時間，為了維持浸泡過程的溫度，可采用很低的循環流量。

5、高流量水泵循環

高流量能沖洗掉被清洗液清洗下來的污染物，在高流量條件下，將會出現過高壓降的問題。

6、沖洗

預處理的合格產水可以用于沖洗系統內的清洗液。為了防止沉淀，最低沖洗溫度為20oC。附注在酸洗過程中，應隨時檢查清洗液pH 值變化，當在溶解無機鹽類沉淀消耗掉酸時，如果pH的增加超過0.5個pH值單低，就應該向清洗箱內補充酸，酸性清洗液的總循環時間不應超過20分鐘，超過這一時間后，清洗液可能會被清洗下來的無機鹽所飽和，而污染物就會再次沉積在膜表面，此時應用合格預處理產水將膜系統及清洗系統內的第一遍清洗液排放掉，重新配置清洗液進行第二遍酸性清洗操作。

7、清洗多段系統

在多段系統的沖洗和浸泡步驟中，可以對整個系統的所有段同時進行，但是對于高流量的循環必須分段進行，以保證循環流量對第一段不會太低而對最后一段不會太高，這可以通過一臺泵每次分別清洗各段或針對每段流量要求設置不同的清洗泵來實現。

及時清洗超濾膜才能保持膜的透過量和壽命，而正確的清洗方法則可以節省時間和減少膜元件在清洗過程中受損。